有限尺寸方靶等离子体离子注入动力学的三维粒子模拟研究
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (8): 085206     doi:10.7498/aps.60.085206
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
有限尺寸方靶等离子体离子注入动力学的三维粒子模拟研究
王蓬, 田修波, 汪志健, 巩春志, 杨士勤
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨 150001
Numerical simulation of plasma immersion ion implantation for cubic target with finite length using three-dimensional particle-in-cell model
Wang Peng, Tian Xiu-Bo, Wang Zhi-Jian, Gong Chun-Zhi, Yang Shi-Qin
State Key Laboratory of Advanced Welding Production Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China

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