Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (9): 098402
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Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征
范平, 蔡兆坤, 郑壮豪, 张东平, 蔡兴民, 陈天宝
深圳大学物理科学与技术学院,薄膜物理与应用研究所,深圳市传感器技术重点实验室,深圳 518060
Fabrication and characterization of Bi-Sb-Te based thin film thermoelectric generator prepared by ion beam sputtering deposition
Fan Ping, Cai Zhao-Kun, Zheng Zhuang-Hao, Zhang Dong-Ping, Cai Xing-Min, Chen Tian-Bao
College of Physical Science and Technology, Institute of Thin Film Physics and Applications, Shenzhen key laboratory of sensor technology, Shenzhen University, Shemzhen 518060, China

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