Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定
物理学报
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物理学报  1982, Vol. 31 Issue (1): 115-120
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Monte Carlo模拟计算应用于微区薄膜厚度测定
何延才1, 黄月鸿1, 孙荆1, 陈裕三2
(1)中国科学院上海硅酸盐研究所; (2)中国科学院上海冶金研究所
MONTE CARLO CALCULATION ON THE MEASUREMENT OF THICKNESS OF THIN FILMS IN MICRO-DOMAIN
HE YAN-CAI1, HUANG YUE-HONG1, SUN JING1, CHEN YU-SAN2
(1)中国科学院上海硅酸盐研究所; (2)中国科学院上海冶金研究所

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