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原子氢、氘钝化以及质子注入掺杂硅的红外吸收

杜永昌 晏懋洵 张玉峰 郭海 胡克良

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原子氢、氘钝化以及质子注入掺杂硅的红外吸收

杜永昌, 晏懋洵, 张玉峰, 郭海, 胡克良

INFRARED ABSORPTION OF DOPED SILICON PASSIVATED BY ATOMIC HYDROGEN, DEUTERIUM AND IMPLANTED BY PROTON

DU YONG-CHANG, YAN MAO-XUN, ZHANG YU-FENG, GUO HAI, HU KE-LIANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-12-15
  • 刊出日期:  2005-03-18

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