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等离子体氧轰击硅生成缺陷的研究

王放平 徐建国 孙恒慧

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等离子体氧轰击硅生成缺陷的研究

王放平, 徐建国, 孙恒慧

STUDY OF THE DEFECTS IN OXYGEN PLASMA IRRADIATED n/n+ Si

WANG FANG-PING, XU JIAN-GUO, SUN HENG-HUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-05-12
  • 刊出日期:  2005-03-20

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