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溅射a-GeNx和a-GeNx:H薄膜的制备及光电特性的研究

陈光华 张仿清 崔敬忠

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溅射a-GeNx和a-GeNx:H薄膜的制备及光电特性的研究

陈光华, 张仿清, 崔敬忠

OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF SPUTTERED AMORPHOUS GeNx AND GeNx:H FILMS

CHEN GUANG-HUA, ZHANG FANG-QING, GUI JING-ZHONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-08-06
  • 刊出日期:  1989-02-05

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