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Mo/Si体系的离子束混合机制研究

高文玉 李宏成 王瑞兰 刘家瑞

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Mo/Si体系的离子束混合机制研究

高文玉, 李宏成, 王瑞兰, 刘家瑞

MECHANISM OF ION BEAM MIXING OF Mo LAYER ON Si

GAO WEN-YU, LI HONG-CHENG, WANG RUI-LAN, LIU JIA-RUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-11
  • 刊出日期:  2005-07-08

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