Si-W/Si/SiO<sub>2</sub>/Si(100)的横截面电子显微镜研究
物理学报
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物理学报  1989, Vol. 38 Issue (6): 981-986
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Si-W/Si/SiO2/Si(100)的横截面电子显微镜研究
卢江, 吴自勤
中国科学技术大学结构分析开放实验室
A CROSS-SECTIONED TEM STUDY OF Si-W/Si/SiO2/Si(100)
LU JIANG, WU ZI-QIN
中国科学技术大学结构分析开放实验室

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