射频溅射Pd薄膜的电阻率研究
物理学报
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物理学报  1990, Vol. 39 Issue (11): 1803-1810
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
射频溅射Pd薄膜的电阻率研究
施一生, 赵特秀, 刘洪图, 王晓平
中国科学技术大学物理系,合肥,230026
A STUDY ON ELECTRICAL RESISTIVITY OF RF SPUTTERING Pd FILMS
SHI YI-SHENG, ZHAO TE-XIU, LIU HONG-TU, WANG XIAO-PING
中国科学技术大学物理系,合肥,230026

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