非聚焦电子束照射SiO<sub>2</sub>薄膜带电效应
物理学报
引用检索 快速检索
物理学报  2012, Vol. 61 Issue (2): 027302     doi:10.7498/aps.61.027302
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
非聚焦电子束照射SiO2薄膜带电效应
李维勤1 2, 张海波2, 鲁君1
1. 西安理工大学自动化与信息工程学院, 西安 710048;
2. 西安交通大学电子科学与技术系电子物理与器件教育部重点实验室, 西安 710049
Charging effects of SiO2 thin films under defocused electron beam irradiation
Li Wei-Qin1 2, Zhang Hai-Bo2, Lu Jun1
1. School of Automation and Information Engineering, Xi’an University of Technology, Xi’an 710048, China;
2. Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Department of Electronic Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China

版权所有 ©  物理学报
地址:北京市603信箱,《物理学报》编辑部 邮编:100190
电话:010-82649294,82649829,82649863   E-mail:apsoffice@iphy.ac.cn
网络系统维护电话:010-62662699-1; 技术支持邮箱 linjl@magtech.com.cn