非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (5): 056103     doi:10.7498/aps.61.056103
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非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究
王永军1 2, 李红轩1, 吉利1, 刘晓红1, 吴艳霞1 2, 周惠娣1, 陈建敏1
1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000;
2. 中国科学院 研究生院, 北京 100049
Preparation and properties of graphite-like carbon films fabricated by unbalanced magnetron sputtering
Wang Yong-Jun1 2, Li Hong-Xuan1, Ji Li1, Liu Xiao-Hong1, Wu Yan-Xia1 2, Zhou Hui-Di1, Chen Jian-Min1
1. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China;
2. Graduate University of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

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