射频磁控反应溅射制备的Ag<sub>2</sub>O薄膜的椭圆偏振光谱研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (5): 056106     doi:10.7498/aps.61.056106
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射频磁控反应溅射制备的Ag2O薄膜的椭圆偏振光谱研究
马姣民1, 梁艳2, 郜小勇1, 陈超1, 赵孟珂1, 卢景霄1
1. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052;
2. 河南工业大学信息科学与技术学院, 郑州 450052
Spectroscopic ellipsometry study of the Ag2O film deposited by radio-frequency reactive magnetron sputtering
Ma Jiao-Min1, Liang Yan2, Gao Xiao-Yong1, Chen Chao1, Zhao Meng-Ke1, Lu Jing-Xiao1
1. Key Laboratory of Materials Physics of Ministry of Education, School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China;
2. College of Information Science and Engineering, Henan University of Technology, Zhengzhou 450001, China

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