直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (3): 036104     doi:10.7498/aps.61.036104
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直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究
陈超, 冀勇, 郜小勇, 赵孟珂, 马姣民, 张增院, 卢景霄
郑州大学物理工程学院, 郑州 450052
Study on the deposition of aluminum-doped zinc oxide films using direct-current pulse magnetron reactive sputtering technique
Chen Chao, Ji Yong, Gao Xiao-Yong, Zhao Meng-Ke, Ma Jiao-Min, Zhang Zeng-Yuan, Lu Jing-Xiao
School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China

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