椭圆偏振光谱实时在线监测与离线分析微晶硅薄膜的生长
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (3): 036802     doi:10.7498/aps.61.036802
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椭圆偏振光谱实时在线监测与离线分析微晶硅薄膜的生长
李新利1, 谷锦华1, 高海波1, 陈永生1, 郜小勇1, 杨仕娥1, 卢景霄1, 李瑞1 2, 焦岳超1
1. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052;
2. 河南工业大学, 郑州 450051
Real time and ex situ spectroscopic ellipsometry analysis microcrystalline silicon thin films growth
Li Xin-Li1, Gu Jin-Hua1, Gao Hai-Bo1, Chen Yong-Sheng1, Gao Xiao-Yong1, Yang Shi-E1, Lu Jing-Xiao1, Li Rui1 2, Jiao Yue-Chao1
1. Key Laboratory of Material Physics of Ministry of Education, School of Physical Engineering and Material Physics Laboratory, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China;
2. Henan University of Technology, Zhengzhou 450051, China

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