高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (3): 038702     doi:10.7498/aps.61.038702
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高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究
王文荣1, 周玉修1, 李铁1, 王跃林1, 谢晓明2
1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室, 上海 200050;
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 信息功能材料国家重点实验室, 上海 200050
Research on synthesis of high-quality and large-scale graphene films by chemical vapor deposition
Wang Wen-Rong1, Zhou Yu-Xiu1, Li Tie1, Wang Yue-Lin1, Xie Xiao-Ming2
1. Science and Technology on Microsystem Laboratory, State Key Laboratories of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Science, Shanghai 200050, China;
2. State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Science, Shanghai 200050, China

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