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多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的方法

李彦超 王春晖 高龙 丛海芳 曲杨

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多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的方法

李彦超, 王春晖, 高龙, 丛海芳, 曲杨

Multi-beam laser heterodyne measurement with ultra-precision for the glass thickness based on oscillating mirror sinusoidal modulation

Li Yan-Chao, Wang Chun-Hui, Gao Long, Cong Hai-Fang, Qu Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-03-30
  • 修回日期:  2011-05-11
  • 刊出日期:  2012-02-05

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