单轴、双轴应变Si拉曼谱应力模型
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (4): 047203     doi:10.7498/aps.61.047203
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单轴、双轴应变Si拉曼谱应力模型
王程, 王冠宇, 张鹤鸣, 宋建军, 杨晨东, 毛逸飞, 李永茂, 胡辉勇, 宣荣喜
西安电子科技大学微电子学院, 宽禁带半导体材料与器件重点实验室, 西安 710071
Stress models relevant to Raman spectrum in uniaxial/biaxial strained Si
Wang Cheng, Wang Guan-Yu, Zhang He-Ming, Song Jian-Jun, Yang Chen-Dong, Mao Yi-Fei, Li Yong-Mao, Hu Hui-Yong, Xuan Rong-Xi
Key Lab of Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an 710071, China

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