悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (7): 075204     doi:10.7498/aps.61.075204
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悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量
邹帅,唐中华,吉亮亮,苏晓东,辛煜
苏州大学物理科学与技术学院, 江苏省薄膜材料重点实验室, 苏州 215006
Application of floating microwave resonator probe to the measurement of electron density in electronegative capacitively coupled plasma
Zou Shuai,Tang Zhong-Hua,Ji Liang-Liang,Su Xiao-Dong,Xin Yu
Provincial Key Laboratory of Thin Films, School of Physical Science and Technology, Soochow University, Suzhou 215006, China

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