双极晶体管微波损伤效应与机理
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (7): 078501     doi:10.7498/aps.61.078501
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双极晶体管微波损伤效应与机理
马振洋,柴常春,任兴荣,杨银堂,陈斌
西安电子科技大学微电子学院, 教育部宽禁带半导体材料与器件重点实验室, 西安 710071
The damage effect and mechanism of the bipolar transistor caused by microwaves
Ma Zhen-Yang,Chai Chang-Chun,Ren Xing-Rong,Yang Yin-Tang,Chen Bin
School of Microelectronics, Xidian University, Key Lab of Ministry of Education for Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices, Xi'an 710071, China

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