利用光频梳提高台阶高度测量准确度的方法
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (10): 100601     doi:10.7498/aps.61.100601
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利用光频梳提高台阶高度测量准确度的方法
张继涛, 吴学健, 李岩, 尉昊赟
清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084
Method for improving the accuracy of step height measurement based on optical frequency comb
Zhang Ji-Tao, Wu Xue-Jian, Li Yan, Wei Hao-Yun
State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China

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