激光诱导等离子体加工石英微通道机理研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (11): 115201     doi:10.7498/aps.61.115201
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激光诱导等离子体加工石英微通道机理研究
李世雄, 白忠臣, 黄政, 张欣, 秦水介, 毛文雪
贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室, 贵阳 550025
Study on the machining mechanism of fabrication of micro channels in fused silica substrates by laser-induced plasma
Li Shi-Xiong, Bai Zhong-Chen, Huang Zheng, Zhang Xin, Qin Shui-Jie, Mao Wen-Xue
Key Laboratory of Photoelectron Technology and Application, Guizhou University, Guiyang 550025, China

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