悬臂梁弯曲法研究氮化钛薄膜临界开裂行为与损毁机理
物理学报
引用检索 快速检索
物理学报  1992, Vol. 41 Issue (7): 1137-1142
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
悬臂梁弯曲法研究氮化钛薄膜临界开裂行为与损毁机理
刘长清, 金柱京, 李美栓, 呼和吉夫, 吴维?
中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室,沈阳110015
CRITICAL CRACKING AND DAMAGE MODE OF TITANIUM NITRIDE FILMS
LIU CHANG-QING, JIN ZHU-JING, LI MEI-SHUAN, HUHE JI-FU, WU WEI-TAO
中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室,沈阳110015

版权所有 ©  物理学报
地址:北京市603信箱,《物理学报》编辑部 邮编:100190
电话:010-82649294,82649829,82649863   E-mail:apsoffice@iphy.ac.cn
网络系统维护电话:010-62662699-1; 技术支持邮箱 linjl@magtech.com.cn