椭圆偏振光谱表征单晶硅衬底上生长的非晶硅和外延硅薄膜
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (15): 157803     doi:10.7498/aps.61.157803
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椭圆偏振光谱表征单晶硅衬底上生长的非晶硅和外延硅薄膜
吴晨阳, 谷锦华, 冯亚阳, 薛源, 卢景霄
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052
The characterization of hydrogenated amorphous silicon and epitaxial silicon thin films grown on crystalline silicon substrates by using spectroscopic ellipsometry
Wu Chen-Yang, Gu Jin-Hua, Feng Ya-Yang, Xue Yuan, Lu Jing-Xiao
Key Laboratory of Materials Physics of Ministry of Education, School of Physical Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China

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