大口径多层介质膜光栅衍射效率测量及其在制作工艺中的应用
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (17): 174203
电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 [an error occurred while processing this directive]  [an error occurred while processing this directive] 
大口径多层介质膜光栅衍射效率测量及其在制作工艺中的应用
周小为, 刘颖, 徐向东, 邱克强, 刘正坤, 洪义麟, 付绍军
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
Diffraction efficiency measurement of large aperture multilayer dielectric grating and its application in the fabrication process
Zhou Xiao-Wei, Liu Ying, Xu Xiang-Dong, Qiu Ke-Qiang, Liu Zhen-Kun, Hong Yi-Ling, Fu Shao-Jun
National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230029, China

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