磁控溅射辉光放电特性的模拟研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (16): 165101     doi:10.7498/aps.61.165101
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
磁控溅射辉光放电特性的模拟研究
沈向前, 谢泉, 肖清泉, 陈茜, 丰云
贵州大学理学院, 新型光电子材料与技术研究所, 贵阳 550025
Computer simulation of the glow discharge characteristics in magnetron sputtering
Shen Xiang-Qian, Xie Quan, Xiao Qing-Quan, Chen Qian, Feng Yun
Institute of Advanced Optoelectronic Materials and Technology, College of Science, Guizhou University, Guiyang 550025, China

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