四光束干涉单次曝光构造含平面缺陷三维周期性微纳结构
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (17): 174211     doi:10.7498/aps.61.174211
电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
四光束干涉单次曝光构造含平面缺陷三维周期性微纳结构
陈小军1 2, 张自丽2, 葛辉良2
1. 香港科技大学物理系, 香港;
2. 杭州应用声学研究所, 杭州 310012
Fabricating three-dimensional periodic micro-structure with planar defects via a single exposure
Chen Xiao-Jun1 2, Zhang Zi-Li2, Ge Hui-Liang2
1. Department of Physics, HongKong University of Science and Technology, HongKong, China;
2. Hangzhou Institute of Applied Acoustics, Hongzhou 310012, China

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