氘化及氦离子注入对钪膜的表面形貌和相结构的影响
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (17): 176106     doi:10.7498/aps.61.176106
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氘化及氦离子注入对钪膜的表面形貌和相结构的影响
彭述明1, 申华海2, 龙兴贵1, 周晓松1, 杨莉2, 祖小涛2
1. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 绵阳 621900;
2. 电子科技大学物理电子学院, 成都 610054
The influence of deuteration and helium-implantation on the surface morphology and phase structure of scandium thick film
Peng Shu-Ming1, Shen Hua-Hai2, Long Xing-Gui1, Zhou Xiao-Song1, Yang Li2, Zu Xiao-Tao2
1. Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China;
2. Department of Applied Physics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China

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