新型SOANN埋层SOI器件的自加热效应研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (17): 177301     doi:10.7498/aps.61.177301
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新型SOANN埋层SOI器件的自加热效应研究
曹磊, 刘红侠
西安电子科技大学微电子学院, 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室, 西安 710071
Study on the self-heating effect in silicon-on-insulator devices with SOANN buried oxide
Cao Lei, Liu Hong-Xia
Key Lab of Ministry of Education for Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices, School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China

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