多孔阳极氧化物的形成效率与纳米孔道的形成机理
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (22): 228202     doi:10.7498/aps.61.228202
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多孔阳极氧化物的形成效率与纳米孔道的形成机理
朱绪飞1, 韩华2, 宋晔1, 马宏图2, 戚卫星1, 路超1, 徐辰1
1. 南京理工大学软化学与功能材料教育部重点实验室, 南京 210094;
2. 中国科学院自动化研究所国家专用集成电路设计工程技术研究中心, 北京 100190
Forming efficiency of porous anodic oxide and formation mechanism of nanopores
Zhu Xu-Fei1, Han Hua2, Song Ye1, Ma Hong-Tu2, Qi Wei-Xing1, Lu Chao1, Xu Chen1
1. Key Laboratory of Soft Chemistry and Functional Materials, Ministry of Education, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing 210094, China;
2. National Engineering and Technology Research Center for ASIC Design, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China

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