全息光刻中的驻波效应研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (1): 014204     doi:10.7498/aps.61.014204
电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
全息光刻中的驻波效应研究
邱克强, 刘正坤, 徐向东, 刘颖, 洪义麟, 付绍军
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
Standing wave in holographic lithography
Qiu Ke-Qiang, Liu Zheng-Kun, Xu Xiang-Dong, Liu Ying, Hong Yi-Lin, Fu Shao-Jun
National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230029, China

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