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全息光刻中的驻波效应研究

邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

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全息光刻中的驻波效应研究

邱克强, 刘正坤, 徐向东, 刘颖, 洪义麟, 付绍军

Standing wave in holographic lithography

Qiu Ke-Qiang, Liu Zheng-Kun, Xu Xiang-Dong, Liu Ying, Hong Yi-Lin, Fu Shao-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-02-25
  • 修回日期:  2011-03-21
  • 刊出日期:  2012-01-05

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