质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (1): 016107     doi:10.7498/aps.61.016107
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质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态
关庆丰1 2, 吕鹏2, 王孝东1, 万明珍1 2, 顾倩倩1 2, 陈波1
1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 长春 130033;
2. 江苏大学材料科学与工程学院, 镇江 212013
Microstructures of Mo/Si multilayer mirror after proton irradiation
Guan Qing-Feng1 2, Lü Peng2, Wang Xiao-Dong1, Wan Ming-Zhen1 2, Gu Qian-Qian1 2, Chen Bo1
1. State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China;
2. College of Material Science and Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, China

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