贴膜条件下飞秒激光诱导硅基表面锥状微结构
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (23): 237901     doi:10.7498/aps.61.237901
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贴膜条件下飞秒激光诱导硅基表面锥状微结构
李保家, 周明, 张伟
江苏大学材料科学与工程学院,光子制造科学技术中心江苏省重点实验室, 镇江 212013
Femtosecond laser induced silicon surface cone microstructures by covering transparent films
Li Bao-Jia, Zhou Ming, Zhang Wei
School of Materials Science and Engineering, Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, China

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