等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (1): 017802     doi:10.7498/aps.62.017802
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等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究
杨发展1 2, 沈丽如1, 王世庆1 2, 唐德礼1, 金凡亚1, 刘海峰1 2
1. 核工业西南物理研究院, 成都 610041;
2. 成都理工大学工程技术学院, 乐山 614000
UV Raman and XPS studies of hydrogenous diamond-like carbon films prepared by PECVD
Yang Fa-Zhan1 2, Shen Li-Ru1, Wang Shi-Qing1 2, Tang De-Li1, Jin Fa-Ya1, Liu Hai-Feng1 2
1. Southwestern Insititute of Physics, Chengdu 610041, China;
2. The Enginering and Technical College of University, Leshan 614000, China

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