(Al<sub>0.1</sub>Ga<sub>0.9</sub>)<sub>0.5</sub>In<sub>0.5</sub>P材料的MOCVD生长温度窗口研究
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (2): 026801     doi:10.7498/aps.62.026801
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(Al0.1Ga0.9)0.5In0.5P材料的MOCVD生长温度窗口研究
孙沛, 李建军, 邓军, 韩军, 马凌云, 刘涛
北京工业大学电子信息与控制工程控学院, 光电子技术省部共建教育部重点实验室, 北京 100124
Temperature window of the (Al0.1Ga0.9)0.5In0.5P growth by MOCVD
Sun Pei, Li Jian-Jun, Deng Jun, Han Jun, Ma Ling-Yun, Liu Tao
Key Laboratory of Opto-electronics Technology of Education Ministry, College of Electronic Information & Control Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100022, China

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