6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (6): 068101     doi:10.7498/aps.62.068101
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6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
云志强1, 魏汝省2, 李威1, 罗维维1, 吴强1, 徐现刚2, 张心正1
1. 南开大学物理科学学院 和泰达应用物理学院, 弱光非线性光子学教育部重点实验室, 天津 300457;
2. 山东大学, 晶体材料国家重点实验室, 济南 250100
Sub-diffraction-limit fabrication of 6H-SiC with femtosecond laser
Yun Zhi-Qiang1, Wei Ru-Sheng2, Li Wei1, Luo Wei-Wei1, Wu Qiang1, Xu Xian-Gang2, Zhang Xin-Zheng1
1. The KOE Laboratory of Weak-Light Nonlinear Photonics, School of Physics & TEDA Applied Physics School, Nankai University, Tianjin 300457, China;
2. State Key Labboratory of Crystal Materials, Shandong University, Jinan 250100, China

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