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脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究

于威 李晓苇 韩理 张连水 傅广生

引用本文:
Citation:

脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究

于威, 李晓苇, 韩理, 张连水, 傅广生

A STUDY ON DISSOCIATION KINETICS OF SiH4+CH4 PLASMA INDUCED BY PULSED INFRARED LASER

YU WEI, LI XIAO-WEI, HAN LI, ZHANG LIAN-SHUI, FU GUANG-SHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-09-27
  • 修回日期:  1993-11-19
  • 刊出日期:  1994-11-20

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