CVD金刚石中的氮对等离子体刻蚀的影响
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (7): 075202     doi:10.7498/aps.62.075202
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
CVD金刚石中的氮对等离子体刻蚀的影响
吴俊, 马志斌, 沈武林, 严垒, 潘鑫, 汪建华
武汉工程大学材料科学与工程学院, 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室, 武汉 430073
Influence of nitrogen in diamond films on plasma etching
Wu Jun, Ma Zhi-Bin, Shen Wu-Lin, Yan Lei, Pan Xin, Wang Jian-Hua
School of Material Science and Engineering, Key Laboratory of Plasma Chemical and Advanced Materials of Hubei Province, Wuhan Institute of Technology Wuhan 430073, China

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