ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (11): 117701     doi:10.7498/aps.62.117701
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ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析
钱莉荣1, 杨保和1 2
1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072;
2. 天津理工大学电子信息工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室, 天津 300384
Calculation and analysis of surface acoustic wave properties of ZnO film on diamond under different excitation conditions
Qian Li-Rong1, Yang Bao-He1 2
1. School of Precision Instrument and Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China;
2. School of Electronic Information Engineering, Tianjin University of Technology, Tianjin Key Laboratory of Film Electronic and Communication Devices, Tianjin 300384, China

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