外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (11): 118103     doi:10.7498/aps.62.118103
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外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响
江强, 毛秀娟, 周细应, 苌文龙, 邵佳佳, 陈明
上海工程技术大学材料工程学院, 上海 201620
Influence of applied magnetic field on properties of silicon nitride thin film with light trapping structure prepared by R.F. magnetron sputtering
Jiang Qiang, Mao Xiu-Juan, Zhou Xi-Ying, Chang Wen-Long, Shao Jia-Jia, Chen Ming
School of Material Engineering, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai 201620, China

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