电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (11): 115202     doi:10.7498/aps.62.115202
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响
洪布双1, 苑涛1, 邹帅1 2, 唐中华1, 徐东升1, 虞一青1, 王栩生2, 辛煜1
1. 苏州大学物理科学与技术学院, 江苏省薄膜材料重点实验室, 苏州 215006;
2. 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 苏州 215011
Influence of addifion of electronegative gases on the properties of capacitively coupled Ar plasmas
Hong Bu-Shuang1, Yuan Tao1, Zou Shuai1 2, Tang Zhong-Hua1, Xu Dong-Sheng1, Yu Yi-Qing1, Wang Xu-Sheng2, Xin Yu1
1. Provincial Key Laboratory of Thin Films, School of Physical Science and Technology, Soochow University, Suzhou 215006, China;
2. Canadian Solar Inc. Suzhou 215011, China

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