包含硅量子点的富硅SiN<sub><i>x</i></sub> 薄膜结构与发光特性
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (12): 126801     doi:10.7498/aps.62.126801
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包含硅量子点的富硅SiNx 薄膜结构与发光特性
廖武刚, 曾祥斌, 文国知, 曹陈晨, 马昆鹏, 郑雅娟
华中科技大学光学与电子信息学院, 武汉 430074
Photoluminescences and structrue performances of Si-rich silicon nitride thin films containing Si quantum dots
Liao Wu-Gang, Zeng Xiang-Bin, Wen Guo-Zhi, Cao Chen-Chen, Ma Kun-Peng, Zheng Ya-Juan
School of Optical and Electronic Information, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China

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