基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (20): 208201     doi:10.7498/aps.62.208201
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基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法
杨宏军1 2, 宋亦旭1, 郑树琳1, 贾培发1
1. 清华大学计算机科学与技术系, 智能技术与系统国家重点实验室, 清华信息科学与技术国家实验室, 北京 100084;
2. 沈阳炮兵学院, 沈阳 110162
A 3D profile evolution method of ion etching simulation based on compression representation
Yang Hong-Jun1 2, Song Yi-Xu1, Zheng Shu-Lin1, Jia Pei-Fa1
1. State Key Laboratory on Intelligent Technology and Systems, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Computer Science and Technology, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
2. Shenyang Artillery Academy, Shenyang 110162, China

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