Yb注入Si后的退火结晶、杂质迁移及光致发光规律
物理学报
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物理学报  1995, Vol. 44 Issue (6): 911-916
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
Yb注入Si后的退火结晶、杂质迁移及光致发光规律
宫宝安1, 李岱青2, 任廷琦2, 孙慧龄3, 朱沛然4, 徐天冰4
(1)烟台大学应用化学系,烟台264005; (2)烟台师范学院物理系,烟台264025; (3)中国科学院微电子研究和发展中心,北京100010; (4)中国科学院物理研究所,北京100080
Gong Bao-An1, Li Dai-Qing2, Ren Ting-Qi2, Sun Hui-Ling3, Zhu Pei-Ran4, Xu Tian-Bing4
(1)烟台大学应用化学系,烟台264005; (2)烟台师范学院物理系,烟台264025; (3)中国科学院微电子研究和发展中心,北京100010; (4)中国科学院物理研究所,北京100080

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