基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测
物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (3): 039101     doi:10.7498/aps.63.039101
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基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测
马智超1, 徐智谋1, 彭静2, 孙堂友1, 陈修国3, 赵文宁1, 刘思思1, 武兴会1, 邹超1, 刘世元3
1. 华中科技大学光学与电子信息学院, 武汉 430074;
2. 武汉科技大学理学院, 武汉 430081;
3. 华中科技大学数学制造装备与技术国家重点实验室, 武汉 430074
Nondestructive detection of nano grating by generalized ellipsometer
Ma Zhi-Chao1, Xu Zhi-Mou1, Peng Jing2, Sun Tang-You1, Chen Xiu-Guo3, Zhao Wen-Ning1, Liu Si-Si1, Wu Xing-Hui1, Zou Chao1, Liu Shi-Yuan3
1. School of Optical and Electronic Information, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China;
2. College of Sciences, Wuhan University of Science and Technology, Wuhan 430081, China;
3. State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China

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