物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (2): .      DOI: 10.7498/aps.63.027303
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
在预刻蚀的衬底上通过分子束外延直接生长出拓扑绝缘体薄膜的微器件
韦庞1 2, 李康2, 冯硝2 3, 欧云波2, 张立果2 3, 王立莉2 3, 何珂2, 马旭村2 3, 薛其坤3
1. 北京邮电大学电子工程学院, 北京 100876;
2. 中国科学院物理研究所, 北京凝聚态物理国家实验室, 北京 100190;
3. 清华大学物理系, 低维量子物理国家重点实验室, 北京 100084
Growth of micro-devices of topological insulator thin films by molecular beam epitaxy on substrates pre-patterned with photolithography
Wei Pang1 2, Li Kang2, Feng Xiao2 3, Ou Yun-Bo2, Zhang Li-Guo2 3, Wang Li-Li2 3, He Ke2, Ma Xu-Cun2 3, Xue Qi-Kun3
1. School of Electronic Engineering, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing 100876, China;
2. Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China;
3. State Key Laboratory of Low-Dimensional Quantum Physics, Department of Physics, Tsinghua University, Beijing 100084, China


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