外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究
物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (9): 098103     doi:10.7498/aps.63.098103
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外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究
陈明, 周细应, 毛秀娟, 邵佳佳, 杨国良
上海工程技术大学材料工程学院, 上海 201620
Influence of external magnetic field on properties of aluminum-doped zinc oxide films prepared by RF magnetron sputtering
Chen Ming, Zhou Xi-Ying, Mao Xiu-Juan, Shao Jia-Jia, Yang Guo-Liang
School of Material Engineering, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai 201620, China

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