金属有机源化学气相沉积法生长氧化锌薄膜中氢气的作用及其机理
物理学报
引用检索 快速检索
物理学报  2014, Vol. 63 Issue (11): 118103     doi:10.7498/aps.63.118103
物理学交叉学科及有关科学技术领域 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
金属有机源化学气相沉积法生长氧化锌薄膜中氢气的作用及其机理
朱顺明, 顾然, 黄时敏, 姚峥嵘, 张阳, 陈斌, 毛昊源, 顾书林, 叶建东, 郑有炓
南京大学电子科学与工程学院, 南京 210046
Influence and mechanism of H2 in the epitaxial growth of ZnO using metal-organic chemical vapor deposition method
Zhu Shun-Ming, Gu Ran, Huang Shi-Min, Yao Zheng-Grong, Zhang Yang, Chen Bin, Mao Hao-Yuan, Gu Shu-Lin, Ye Jian-Dong, Zheng You-Dou
School of Electronic Science & Engineering and Nanjing National Laboratory of Microstructures, Nanjing University, Nanjing 210046, China

版权所有 ©  物理学报
地址:北京市603信箱,《物理学报》编辑部 邮编:100190
电话:010-82649294,82649829,82649863   E-mail:apsoffice@iphy.ac.cn
网络系统维护电话:010-62662699-1; 技术支持邮箱 linjl@magtech.com.cn