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C+离子注入Si单晶形成SiC埋层中Si2p的特征能量损失谱

严 辉 陈光华 黄世平 郭伟民

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C+离子注入Si单晶形成SiC埋层中Si2p的特征能量损失谱

严 辉, 陈光华, 黄世平, 郭伟民

CHARACTERISTIC ELECTRON ENERGY LOSS SPECTRA IN SiC BURIED LAYERS FORMED BY C+ IMPLANTATION INTO CRYSTALLINE SILICON

YAN HUI, CHEN GUANG-HUA, S.P.WONG, R.W.M.KWOK
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-10-22
  • 刊出日期:  1998-05-20

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