物理学报
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物理学报  2016, Vol. 65 Issue (7): .      DOI: 10.7498/aps.65.070703
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基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量
陈修国1, 袁奎1, 杜卫超1, 陈军1, 江浩1, 张传维1,2, 刘世元1,2
1. 华中科技大学, 数字制造装备与技术国家重大实验室, 武汉 430074;
2. 武汉颐光科技有限公司, 武汉 430075
Large-scale nanostructure metrology using Mueller matrix imaging ellipsometry
Chen Xiu-Guo1, Yuan Kui1, Du Wei-Chao1, Chen Jun1, Jiang Hao1, Zhang Chuan-Wei1,2, Liu Shi-Yuan1,2
1. State Key Laboratory for Digital Manufacturing Equipment and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China;
2. Wuhan EOptics Technology Co. Ltd. , Wuhan 430075, China


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