物理学报
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物理学报  2016, Vol. 65 Issue (9): .      DOI: 10.7498/aps.65.096501
凝聚物质:结构、力学和热学性质 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
类金刚石薄膜在硅基底上的沉积及其热导率
艾立强1, 张相雄2, 陈民1, 熊大曦2
1. 清华大学工程力学系, 北京 100084;
2. 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所, 江苏省医用光学重点实验室, 苏州 215163
Deposition and thermal conductivity of diamond-like carbon film on a silicon substrate
Ai Li-Qiang1, Zhang Xiang-Xiong2, Chen Min1, Xiong Da-Xi2
1. Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
2. Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology, Chinese Academy of Science, Jiangsu Key Laboratory of Medical Optics, Suzhou 215163, China


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